日本の半導体製造が後塵に拝する理由のひとつ
日本の半導体製造が後塵に拝する理由のひとつに、超純水の差がある。
25年前に産総研が危惧していたように、超純水分野でまけている。AIで検索すりゃわかる。
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フッ酸(濃度60%)を使った洗浄装置を10台ほど国内企業に納入してきたが、「テフロンはフッ酸でゆっくりと溶ける」。 テフロン槽の補修は3年に一回手程度必要。 まあ、フッ酸の匂いを嗅いで生きているほうが不思議でもある。 ボンデイングマシーンは新川のはオペレートしてきた。
産総研が超純水度を危惧して予算つけしたテーマがあって、富士電機(東京)からオイラに声がかかった。 ぼかして説明するものだから、要領を得ずに時間だけ過ぎた思い出。


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